Анализ стали заключается в методе, который основан на зависимости интенсивности характеристических линий флуоресценции элемента от его массовой доли в пробе. Возбуждаемое первичным рентгеновским излучением характеристическое излучение элементов в пробе разлагается в спектр с последующим измерением аналитических сигналов и определением массовой доли элементов с помощью градуировочных характеристик.
Подготовка проб и стандартных образцов для градуировки к анализу стали заключается в их идентичной заточке на плоскость и протирке техническим спиртом. Грубость поверхности должна быть не хуже 50 мкм, не иметь усадочных раковин, трещин, пор, шлаковых и неметаллических включений.
Обычно образцы подготавливают в виде диска диаметром 40 мм и толщиной не более 20 мм, при малом количестве пробы образец готовится в виде диска диаметром 20 мм и толщиной до 10 мм либо в виде образца с одной плоской поверхностью, который можно вписать в приведенные выше габариты.
Дальнейшей пробоподготовки для того, чтобы произвести анализ стали, не требуется. Образец устанавливается в прободержатель и далее в спектрометр. Анализ образцов выполняется автоматически по заданной программе.